测量无基底效应薄膜材料的杨氏模量
编号：1412
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更新：2026-04-24 19:42:31
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口头报告
报告开始：2026年04月28日 11:30 （Asia/Shanghai）
报告时间：10min
所在会议：[B] 薄膜科技论坛 » [B1] B上午场
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摘要
利用KLA纳米压痕仪的连续刚度测量技术结合Hay-Crawford模型对压痕载荷-深度曲线进行解析，可用获得没有基底效应薄膜材料的杨氏模量，借助有限元分析分别对膜、基材料的模量十倍范围内不同深度的分析验证，在压入深度30%的膜厚范围内都可以获取薄膜的本征杨氏模量，该方法避免了传统模型分析中基底效应对薄膜模量测量的影响，为薄膜力学性能的准确评价提供了有效手段。
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